一文介紹ICP-MS三大機型產品矩陣深度解讀

一、公司背景：二十年深耕，鑄就國產質譜前進力量  

北京萊伯泰科儀器股份有限公司成立于2002年，是一家專業從事實驗分析儀器的研發、生產和銷售的科技型企業。自成立以來，公司始終聚焦環境檢測、半導體分析、生命科學等國家重點領域，構建了從樣品前處理到智能檢測的全鏈條解決方案。截至目前，萊伯泰科產品已服務全球90多個國家和地區，累計服務3萬余家客戶。  

在電感耦合等離子體質譜儀（ICP-MS）領域，萊伯泰科憑借在分析儀器設備領域二十年的積淀，推出了電感耦合等離子體質譜儀LabMS3000ICP-MS，正式進軍半導體、生命科學、新能源以及各傳統行業。2021年5月20日，萊伯泰科憑借自研ICP-MS——LabMS3000成功“破圈”，直指半導體行業應用，打破了該領域長期被進口品牌壟斷的僵局。從2021年的LabMS3000到2026年的全鏈智造系統，萊伯泰科用五年時間完成了從追隨到品牌躍遷。  

二、產品矩陣：三大主力機型，覆蓋多元應用場景  

萊伯泰科目前已形成三大自研ICP-MS機型矩陣：LabMS3000（單四極桿通用型）、LabMS3300（高鹽基體專用型）和LabMS5000（三重四極桿串聯質譜旗艦型）。  

（一）LabMS3000——開疆拓土的先鋒之作  

LabMS3000是萊伯泰科自主研發的高性能單四極桿電感耦合等離子體質譜儀。該產品采用工業標準27.12MHz全固態RF發生器，具有高的穩定性，冷、熱等離子體可快速穩定切換，確保儀器24小時不間斷安全穩定運行以及檢測數據的可靠性。  

在抗干擾能力方面，LabMS3000采用新一代六極桿碰撞/反應池技術，使用單一高純氦氣即可有效消除多原子離子等質譜干擾，無需氣體切換和模式切換，極大節約了分析時間。其檢測器采用脈沖、模擬雙模式同時型電子倍增器，可在一次運行中實現常量元素（數百或數千ppm）與痕量元素（ppt或亞ppt級）的直接分析。  

LabMS3000憑借優良的性能、穩定的品質以及出色的市場口碑，榮獲“國產好儀器”稱號。它先實現了國產ICP-MS在半導體頭部企業芯片生產線端的驗證與應用。  

（二）LabMS3300——直面復雜基體的升級之作  

全新升級的LabMS3300ICP-MS不僅延續了萊伯泰科明星產品的穩定性，更在檢測靈敏度與可靠性上實現了質的飛躍。它集成了多項針對性創新技術，直面高基體、復雜樣品分析時的各種硬核挑戰。  

其核心技術包括：快速匹配離子源，為分析各種復雜基體時提供穩定可靠的離子化效率；氬氣在線稀釋與氬氣加濕技術，在樣品引入端即可自動將高鹽基體稀釋至錐口耐受范圍，保證大批量樣品連續運行的信號穩定性；三重離子提取技術，在有效提高待測元素靈敏度的同時改善離子聚焦、降低基體效應；新一代碰撞反應池技術，高效消除高基體帶來的復雜多原子離子干擾，即使在超高TDS條件下，As、Se、Cd等關鍵毒理元素仍可獲得亞ppt級的檢出能力。  

（三）LabMS5000——國產三重四極桿的旗艦

LabMS5000是萊伯泰科在獲得用戶廣泛贊譽的LabMS3000基礎上推出的全新一代三重四極桿串聯質譜儀（ICP-MS/MS）。該產品具有單四極桿和串聯四極桿兩種工作模式，可根據不同應用需求靈活選擇。  

核心技術指標方面：背景噪音在4.5amu、5amu或220amu處均低于0.2cps；質量范圍覆蓋1-295amu。LabMS5000采用MS/MS模式實現受控且可靠的干擾去除，精準去除質量干擾離子，從而獲得更低的檢出限和準確的超痕量分析結果。  

該產品通過了國際半導體產業協會的SEMIS2認證，這是國產ICP-MS在國際半導體檢測領域獲得的重要認可。2025年，LabMS5000入選北京市重大技術裝備目錄，標志著國產ICP-MS在重大技術裝備領域的又一重要突破。憑借的技術性能，LabMS5000已成功進入我國多家芯片、光伏和面板頭部生產企業，被廣泛應用于硅材料、電子濕化學品、光刻膠、高純PFA、CMP拋光液以及化合物半導體等多個半導體生產環節。  
 

三、核心技術：自主創新的硬核實力  

（一）射頻發生器系統  

萊伯泰科ICP-MS全系列采用工業標準27.12MHz全固態射頻發生器。該發生器功率在500W至1600W范圍內連續可調，功率波動小于±0.1%。支持常溫1600W常規模式和500W冷等離子體模式，后者特別適合高純材料及堿金屬的超低含量檢測。全固態設計帶來了高的系統穩定性和可靠性，確保儀器可以長時間不間斷安全運行。  

（二）干擾去除技術  

從LabMS3000的六極桿碰撞/反應池技術，到LabMS5000的串聯四極桿MS/MS模式，萊伯泰科構建了層次化的干擾去除技術體系。MS/MS模式能夠實現受控且可靠的干擾去除，精準去除質量干擾離子，可有效去除多原子和雙電荷干擾，準確測試復雜基體樣品中痕量元素的含量。在地質與礦產領域，LabMS5000可使用“化學分離”來解決同質異位素干擾，直接分離同質異位素重疊（如²??Hg與²??Pb、??Rb與??Sr等）。  

（三）智能軟件平臺  

萊伯泰科自主研發的HiMass智能工作站，采用一鍵式、向導式、模塊化設計，界面簡潔直觀，易學易用。該軟件平臺具備一鍵自動調諧、方法向導和數據分析工具等功能，讓復雜分析變得簡單高效。  

（四）安全防護與可靠性  

萊伯泰科ICP-MS產品擁有可靠的安全配置，包括EMO（緊急停止）及Interlock（聯鎖）等。LabMS5000更是通過了SEMIS2認證，多達十重安全防護配置，帶來全面可靠的安全防護，保證儀器長時間安全可靠運行。  

四、應用領域：從環境監測到半導體制造  

萊伯泰科ICP-MS系列產品的應用覆蓋多個重要行業領域。  

環境領域：可用于地下水、地表水、海水、廢水、飲用水、土壤、固廢樣品、空氣和廢氣等環境樣品中各類元素分析。LabMS3300可滿足HJ700-2014《水質65種元素的測定電感耦合等離子體質譜法》等標準要求。  

食品領域：可用于各類食品中多元素分析及質量控制，滿足GB5009.268等多項食品安全國家標準。LabMS5000可有效去除多原子和雙電荷干擾，準確測試所有食品樣品中痕量的砷、硒以及其他元素。  

制藥領域：用于中藥材、化學藥、藥用輔料中重金屬及元素雜質測定。MS/MS模式可有效消除中藥材等復雜基體帶來的質譜干擾。  

醫療領域：用于血液、尿液、毛發等生物樣品中常量元素、微量營養元素、重金屬的檢測以及人體藥物濃度監測。LabMS5000的反應模式還可精準測量蛋白質中的S、P元素含量。  

半導體領域：可用于超純水、濕電子化學品、電子特氣、硅片、多晶硅、光刻膠等雜質元素檢測。LabMS5000憑借高靈敏度、低檢測限及優異的抗干擾能力，可精準檢測濕電子化學品中痕量金屬雜質。  

此外，產品還廣泛應用于疾控衛生、地質與礦產、公安司法、材料科學、能源與化工等領域。  

五、從單品到全鏈：智能化全流程解決方案  

2026年5月20日，萊伯泰科發布了年度核心創新成果——EvoLab智能化全流程元素分析系統。該系統集成了超級微波消解儀、液體定容稀釋進樣系統和全新一代ICP-MS（LabMS3300），真正實現了從稱樣、加酸到消解，再到最終上機檢測的全流程閉環自動化。

六、國產替代進程與市場展望  

萊伯泰科ICP-MS系列產品目前已廣泛應用于環保、疾控、海關商檢、半導體、醫療、大學院校等行業。2025年度，公司電感耦合等離子體質譜儀系列產品實現銷售收入約3220萬元，占公司營業收入的8.03%。  

在半導體這一應用領域，進口品牌目前仍處于主導地位，客戶對國產設備普遍持審慎態度，驗證周期較長。萊伯泰科正憑借“場景驅動創新”的戰略，圍繞半導體材料在線檢測等新興領域，開發高度適配本土需求的定制化儀器設備。公司目前已與多家半導體企業建立深度合作。  

在核心零部件方面，萊伯泰科質譜儀產品的核心零部件主要通過外部采購或外協加工兩種方式獲取，其中真空泵、檢測器通過進口采購，離子源、控制系統等由公司自主研發設計，四極桿委托國內上游廠商加工，軟件自主開發。